π» ΠΡΡΠ΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΈΠ΅ Π² ΠΌΠΈΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΈΠΏΠΎΠ²: ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π±ΡΠ΄ΡΡΠ΅Π³ΠΎ
Π Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΌ Π³ΠΎΠ»Π»Π°Π½Π΄ΡΠΊΠΎΠΌ Π³ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΊΠ΅ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½Π°Ρ Π² ΠΌΠΈΡΠ΅ ΡΠ°Π±ΡΠΈΠΊΠ°, ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ°Ρ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΈΠΏΠΎΠ² Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΊΡΡΡΠ΅ΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ»Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ (EUV) ΡΠ²Π΅ΡΠ° — ΡΠ²Π΅ΡΠ°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ Π½Π΅ Π²ΡΡΡΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅ Π½Π° ΠΠ΅ΠΌΠ»Π΅ ΠΈ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΌΠΎΠ»ΠΎΠ΄ΡΠΌΠΈ Π·Π²ΡΠ·Π΄Π°ΠΌΠΈ Π² ΠΊΠΎΡΠΌΠΎΡΠ΅. ΠΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΡΠΎΡ ΡΠ²Π΅Ρ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ ΡΠ°ΠΌΡΠ΅ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΈ Π²ΠΎΡΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠΈΠΏΡ.
ΠΠ°ΡΠΈΠ½Ρ EUV ΠΊΡΠ°ΠΉΠ½Π΅ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΈΠ΅ — ΠΎΠ΄Π½Π° ΡΡΠΎΠΈΡ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 380 ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π΄ΠΎΠ»Π»Π°ΡΠΎΠ². ΠΡ ΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ° ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ 40 ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΠΉΠ½Π΅ΡΠΎΠ², ΡΡΡΡ Π³ΡΡΠ·ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ² ΠΈ 20 Π³ΡΡΠ·ΠΎΠ²ΠΈΠΊΠΎΠ². Π‘ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΡΡΠΈΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ² ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡΡΡ ΠΌΠ΅Π»ΡΡΠ°ΠΉΡΠΈΠ΅ ΡΠ·ΠΎΡΡ Π½Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π°Ρ , ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠΎΡΡΠΎΡΡ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΡ — ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠ°ΡΠ΄Ρ ΠΌΠ°Π»Π΅Π½ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ, ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΠΈΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ². Π§Π΅ΠΌ ΡΠΎΠ½ΡΡΠ΅ ΡΠ·ΠΎΡΡ, ΡΠ΅ΠΌ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ Π²ΡΡΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π½Π° ΡΠΈΠΏ.
ΠΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠΈΠΏΠΎΠ² ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΉΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ, Π³Π΄Π΅ ΠΌΠ°Π»Π΅ΠΉΡΠ°Ρ ΠΏΡΠ»ΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²ΡΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠ΅ ΠΈΠ· ΡΡΡΠΎΡ. ΠΠ΄ΠΈΠ½ ΡΠΈΠΏ — ΠΊΠ°ΠΊ Π·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ· ΡΠΎΡΠ½ΠΈ ΡΡΠ°ΠΆΠ΅ΠΉ, Π³Π΄Π΅ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Π°Ρ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ Π²ΠΈΡΡΡΠ°. ΠΠ°ΡΠΈΠ½Ρ EUV Π²ΡΡΠ²Π΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠΈ ΡΠ»ΠΎΡΠ² Π½Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π΅, Π° Π½Π΅ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΠ΅ ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡΡΡΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΎΠΌ, ΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡ 3D-ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Ρ Π±ΡΠ΄ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠΈΠΏΠ°.
Π₯ΠΎΡΡ Π³ΠΎΠ»Π»Π°Π½Π΄ΡΠΊΠ°Ρ ASML ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½Ρ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΡΠΈΠΏΠΎΠ², ΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ Π²ΡΠΏΡΡΠΊΠ°Π΅Ρ ΡΠ°ΠΉΠ²Π°Π½ΡΡΠΊΠ°Ρ TSMC. ΠΠ½Π° ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π΄Π΅Π²ΡΡΡ ΠΈΠ· Π΄Π΅ΡΡΡΠΈ ΡΠ°ΠΌΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΈΠΏΠΎΠ² ΠΌΠΈΡΠ°, Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Ρ ΡΠ΅, ΡΡΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π² ΡΠΌΠ°ΡΡΡΠΎΠ½Π°Ρ . ΠΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π’Π°ΠΉΠ²Π°Π½Ρ ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π²ΡΠΌ ΠΈΠ³ΡΠΎΠΊΠΎΠΌ Π² Π³Π»ΠΎΠ±Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈΠ½Π΄ΡΡΡΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², ΠΈ ΡΡΡΠ°Π½Ρ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ΅ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°ΡΠΈΡΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΏΠΎΡΠΊΠΈ.
EUV-ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ ΡΠΈΠΏΡ Π΄Π»Ρ ΠΈΡΠΊΡΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π»Π»Π΅ΠΊΡΠ°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΡΡΡ Π²ΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠΌΠΈ. ΠΠΌΠ΅ΡΠΈΠΊΠ°Π½ΡΠΊΠ°Ρ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΡ Nvidia ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΈΠΏΡ, Π° TSMC ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΈΡ Π½Π° ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ASML. ΠΠΈΡΠ°ΠΉ, ΠΏΠΎΠΊΠ° Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅Ρ Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ° ΠΊ EUV, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅Ρ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΡΠ°ΡΡΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, Π½ΠΎ ΡΠΆΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π΅Ρ Π½Π°Π΄ ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ EUV-ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈ ΠΈ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½Π° ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡΡΠ΅Π½ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΡ.
ΠΠ°ΠΆΠ½ΡΠΌ ΡΠ΅ΡΡΡΡΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΎΡΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠ΅Π΄ΠΊΠΎΠ·Π΅ΠΌΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ, ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ ΠΈ Π³Π°Π»Π»ΠΈΠΉ. ΠΠ½ΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π΄Π»Ρ ΡΠΈΠΏΠΎΠ², Π½ΠΎ ΠΈ Π΄Π»Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΈ ΡΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ. ΠΠΎ ΠΏΡΠΎΠ³Π½ΠΎΠ·Π°ΠΌ, ΡΠΏΡΠΎΡ Π½Π° ΡΡΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΡΠ΅Π·ΠΊΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΈ Π² Π±Π»ΠΈΠΆΠ°ΠΉΡΠΈΠ΅ Π³ΠΎΠ΄Ρ, Π° ΠΠΈΡΠ°ΠΉ ΠΎΡΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· Π»ΠΈΠ΄Π΅ΡΠΎΠ² ΠΏΠΎ ΠΈΡ Π΄ΠΎΠ±ΡΡΠ΅ ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅.
ΠΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠΈΠΏΡ, ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡΡ Π² Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡΡ . ΠΠ½ΠΈ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡ ΡΠ΅ΡΠ°ΡΡ Π·Π°Π΄Π°ΡΠΈ Π³ΠΎΡΠ°Π·Π΄ΠΎ Π±ΡΡΡΡΠ΅Π΅, ΡΠ΅ΠΌ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΡΠΏΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΡ. Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΈΠΏΡ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ·ΠΎΡΠΎΠ², ΠΈ ΠΠΈΡΠ°ΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡΠΌΠΈ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΊΠ²Π°Π»ΠΈΡΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΠΊΠ°Π΄ΡΠ°ΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π°.
ΠΠΊΡΠΏΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ²Π°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΊΠ»ΡΡ ΠΊ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ΅ΡΡΡ — ΡΡΠΎ Π»ΡΠ΄ΠΈ. Π£ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΡ, ΠΎΠ±ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ Π² Π²Π΅Π΄ΡΡΠΈΡ ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠ°Ρ ΠΌΠΈΡΠ°, Π²ΠΎΠ·Π²ΡΠ°ΡΠ°ΡΡΡΡ Π΄ΠΎΠΌΠΎΠΉ ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ ΠΈΠ½Π½ΠΎΠ²Π°ΡΠΈΠΈ. ΠΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π·Π½Π°Π½ΠΈΠΉ, ΠΎΠΏΡΡΠ° ΠΈ ΡΠ΅ΡΡΡΡΠΎΠ² ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅Ρ ΡΡΠΏΠ΅Ρ Π² ΠΈΠ½Π΄ΡΡΡΡΠΈΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΈΠΏΠΎΠ², ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅Ρ Π±ΡΠ΄ΡΡΠ΅Π΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ, ΠΈΡΠΊΡΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π»Π»Π΅ΠΊΡΠ° ΠΈ Π²ΡΡΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠΈ.